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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ

更新日期:2024-05-14

訪問量:1288

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)
一種可以輕松制作電極薄膜的小型濺射裝置
標(biāo)配間歇濺射功能
TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ

特征

  • 直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)

  • 一種可以輕松制作電極薄膜的小型濺射裝置

  • 標(biāo)配間歇濺射功能

  • TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ


基本規(guī)格

陰極φ2英寸/平板型電極
濺射靶包括 Au 目標(biāo)
氣體引入機(jī)制針閥
間歇功能標(biāo)配
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動(dòng)漏氣)
腔室尺寸內(nèi)徑φ90mm x D90mm(SUS制)
樣品交換方式前門開閉式
尺寸(寬/深/高)本體:160/326 / 286mm 反相:300/160 / 200mm
重量身體:10kg RP:9kg



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