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X射線熒光測量儀 XDV ® -μ WAFER

X射線熒光測量儀 XDV ® -μ WAFER

更新日期:2024-05-14

訪問量:948

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
X射線熒光測量儀 XDV ® -μ WAFER
FISCHERSCOPE ® X 射線 XDV ® -μ 晶圓
它是一種高性能熒光X射線測量設(shè)備,配備了多毛細(xì)管光學(xué)元件,專門設(shè)計用于自動測量晶片的膜厚和材料分析。

X射線熒光測量儀 XDV ® -μ WAFER

X射線熒光測量儀 XDV ® -μ WAFER

日本進口fischerX射線熒光測量儀 XDV ® -μ WAFER

特征

  • 專門設(shè)計的自動晶圓薄膜厚度測量和材料分析模型
  • 配備創(chuàng)新的多毛細(xì)管透鏡,可以在非常小的測量點中獲得較大的激發(fā)強度。

主要規(guī)格

它是一種高性能熒光X射線測量設(shè)備,配備多毛細(xì)管透鏡,專門設(shè)計用于自動測量晶片的膜厚和材料分析。

模型XDV-μ晶圓
測量元件范圍鋁 (13) -U (92)
X射線探測器硅漂移探測器 (SDD)
X射線管微調(diào)焦管
初級過濾器4種(可切換)
X射線光學(xué)系統(tǒng)多毛細(xì)管透鏡 Φ20µm(選項 Φ10µm)
車身尺寸680 x 900 x 690mm(寬x深x高)
晶圓尺寸兼容 6、8 和 12 英寸
能量消耗高達 120W

主要應(yīng)用

  • 電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)等的晶圓測量(可測量Φ300mm的晶圓)
  • 分析 0.1 µm 以下的 Au 和 Pd 薄膜涂層
  • 質(zhì)量控制中的自動測量等
  • 多層涂層的測量

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