日本hrd熱范圍TM3

更新日期：2024-05-12

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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：

日本hrd熱范圍TM3
用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率
用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率

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產(chǎn)品介紹

日本hrd熱范圍TM3

熱物理顯微鏡的測量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

由于金屬的反射率具有隨表面溫度而變化的性質(zhì)（熱電阻法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度的變化，來測量表面的相對溫度變化。。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱效率。

名稱/產(chǎn)品名稱	熱物理特征顯微鏡/熱顯微鏡
測量方式	熱物理性質(zhì)分布測量（1D，2D，1點）
測量項目	熱效率，（熱擴散率），（熱導(dǎo)率）
檢測光斑直徑	約3μm
1點測量標(biāo)準(zhǔn)時間	10秒
待測薄膜	厚度從幾百納米到幾十微米
重復(fù)精度	耐熱玻璃和硅的熱效率小于±10％
樣本	1.樣品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 2.板狀樣品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下需要對樣品表面進行鏡面拋光。樣品表面需要進行Mo濺射。
工作溫度極限	24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器）
載物臺移動距離	? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm
激光加熱	半導(dǎo)體激光波長：808nm
激光檢測	半導(dǎo)體激光波長：658nm
電源供應(yīng)	交流100V 1.5kVA
標(biāo)準(zhǔn)配件	樣品架，參考樣品
選項	光學(xué)平臺，空調(diào)，空調(diào)房，濺射設(shè)備

產(chǎn)品中心 Products

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