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日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器

日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器

更新日期:2024-05-12

訪問(wèn)量:648

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器UCD系列
UCD系列: 圓盤狀部件過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量10~100L/min
RGF系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.1~10μm 推薦流量40~60L/min
UCS-M系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器UCD系列

日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器UCD系列

 

金屬氣體過(guò)濾器

全部采用SUS316L材質(zhì)制造,緊湊式設(shè)計(jì)、高過(guò)濾精度、耐高溫(460℃)用于ULSI制造的高性能氣體過(guò)濾器。

  • UCD系列: 圓盤狀部件過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量10~100L/min
  • RGF系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.1~10μm 推薦流量40~60L/min
  • UCS-M系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

 低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器 UCD系列

 

  • 過(guò)濾器材料全部采用SUS316L,不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時(shí)具備較高的耐熱性能。
  • 使用氮?dú)猓∟2)輸入,當(dāng)過(guò)濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時(shí),輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
  • 固定或脈動(dòng)方式下過(guò)濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm,實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
 
 
過(guò)濾精度0.003μm
推薦流量10~100?/min(各型號(hào)區(qū)別:參考流量特性曲線)
使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
使用溫度460℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理)元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件1/4"Gasket seal、其它

     

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