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日本hamai高純度氣體兼容容器閥

日本hamai高純度氣體兼容容器閥

更新日期:2024-05-12

訪問量:807

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
日本hamai高純度氣體兼容容器閥
高純度氣體兼容容器閥
與高純度氣體兼容的高性能容器閥,用于半導(dǎo)體制造等

日本hamai高純度氣體兼容容器閥

日本hamai高純度氣體兼容容器閥

 

高純度氣體兼容容器閥

與高純度氣體兼容的高性能容器閥,用于半導(dǎo)體制造等

一種高純度氣體的容器閥,與半導(dǎo)體制造中使用的高純度氮?dú)?,高純度氧氣和液化氨兼容?/font>根據(jù)氣體的種類,我們有各種車身材料(如黃銅和不銹鋼)以及各種各樣的結(jié)構(gòu)(如背板類型和隔膜類型)的產(chǎn)品陣容。

G-12型銅后座閥

[功能]高純度氣體用黃銅后座閥,閥體采用C3771材料。通過*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的雙O形圈結(jié)構(gòu)追求更高的氣密性。

[規(guī)格] 
,黃銅
易燃
,不易燃
,助燃

G-55L型黃銅隔膜閥

[特征]銅制隔膜閥,通過研磨膜片和非油脂規(guī)格,可支撐更高純度的氣體。通過采用與SUS-55LN型相同的結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)高耐用性。雙O形圈結(jié)構(gòu)是疏散的理想選擇。

[規(guī)格] 
,黃銅
易燃
,不易燃
,助燃

SUS-12型不銹鋼隔膜閥

[特點(diǎn)]高純度氣體用不銹鋼后座閥,具有與銅G-12型相同的結(jié)構(gòu),并使用SUS316L,對閥體具有優(yōu)異的耐腐蝕性。諸如Teflon和雙O形圈的密封填料可保持較高的氣密性。

[規(guī)格] 
,不銹鋼
-flammable 
,不易燃
,助燃

?氣體快速逸出,可以縮短檢查周期
?搜索氣體的改變是一觸式
⇒使用大氣氮?dú)鈾z查泄漏和總泄漏量后,
  氬氣可以通過切換到模式來確定泄漏位置。
 

無需高級技能

-由于沒有吸收或滲透到彈性體中,因此可以進(jìn)行可靠的泄漏檢測。
 

可以準(zhǔn)確定量泄

當(dāng)排出各種氣體時,每種氣體都會發(fā)出自己*的光。通過測量這些光的每個波長的光譜強(qiáng)度,可以測量各種氣體的分壓。從該分壓計(jì)算出每種氣體的泄漏量。
由于它可以測量光線,因此甚至可以很容易地測量低真空。
(右圖是各種氣體的發(fā)射顏色的示例。)
 

發(fā)射光譜1.png




進(jìn)入

右圖是確認(rèn)使用已知電導(dǎo)率的元件在大氣壓空氣下進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)后,使用氬氣測量泄漏量的精度的圖表。通過在大氣中校準(zhǔn)一次,可以準(zhǔn)確測量高達(dá)10-8 Pa·m3 / s的氣體,而氮?dú)夂蜌鍤獾?/font>氣體類型無關(guān)。

SLD氬氣敏感性特征圖.png



 

進(jìn)入

物品   規(guī)格值

可檢測泄漏量
 
   10 -2 至10 -8 Pa ? m 3 / s
工作壓力

   約50Pa


搜索氣
 
   氬氣,空氣(N 2)等 
分析方法   光學(xué)的
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)器   標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件
顯示/操作單元   手持式帶圖形顯示

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